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化学气相渗透炉

化学气相渗透(CVI)炉由美国TTI公司生产,可以实现化学气相渗透(CVI)、化学气相沉积(CVD)以及高温真空(或常压)烧结等功能。既可常压沉积(渗透)和烧结,又可真空沉积(渗透)和烧结。主要技术参数:

1. 有效工作尺寸:Φ150mm×450mm

2. 最高工作温度:2000

3. 烧结真空度:6.7 Pa

4. 真空、惰性气氛、氢气气氛。

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